Ai快訊 南方財(cái)經(jīng)9月8日消息，據(jù)人民財(cái)訊報(bào)道，盛美上海于今日宣布推出首款KrF工藝前道涂膠顯影設(shè)備Ultra Lith KrF，此設(shè)備旨在支持半導(dǎo)體前端制造。該系統(tǒng)的推出標(biāo)志著盛美上海光刻產(chǎn)品系列得到重要擴(kuò)充，具備高產(chǎn)能、先進(jìn)溫控技術(shù)以及實(shí)時(shí)工藝控制和監(jiān)測(cè)功能。值得一提的是，首臺(tái)設(shè)備系統(tǒng)已于2025年9月交付給中國(guó)頭部邏輯晶圓廠客戶。
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