盛美上海推出首款KrF前道涂膠顯影設備
原創(chuàng)
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瑞財經(jīng)
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2025-09-08 09:04
Ai快訊 南方財經(jīng)9月8日消息，據(jù)人民財訊報道，盛美上海于今日宣布推出首款KrF工藝前道涂膠顯影設備Ultra Lith KrF，此設備旨在支持半導體前端制造。該系統(tǒng)的推出標志著盛美上海光刻產(chǎn)品系列得到重要擴充，具備高產(chǎn)能、先進溫控技術以及實時工藝控制和監(jiān)測功能。值得一提的是，首臺設備系統(tǒng)已于2025年9月交付給中國頭部邏輯晶圓廠客戶。
（AI撰文，僅供參考）
來源：瑞財經(jīng)
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